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一、鍍膜工藝原理介紹
PVD真空鍍膜是將鈦、金、石墨、晶體等金屬或非金屬、氣體等材料在真空中濺射、蒸發或離子鍍在基體上的一種表面處理工藝。與傳統的化學鍍膜方法相比,真空鍍膜具有許多優點,如對環境無污染,是一種綠色環保工藝;對操作者無傷害;漆膜牢固、致密、耐腐蝕、厚度均勻。真空鍍膜技術中常用的方法有蒸發鍍膜(包括電弧蒸發、電子槍蒸發、電阻絲蒸發等)和濺射鍍膜(包括直流磁控濺射、中頻磁控濺射、射頻濺射等),統稱為物理氣相沉積(PVD)。
相應的化學氣相沉積(CVD)被稱為CVD技術。工業上通常稱為“IP”(離子鍍)離子鍍膜,因為在PVD工藝技術中,多種氣體離子和金屬離子參與成膜過程并發揮重要作用,為強調離子的作用,統稱為離子鍍膜。
真空鍍膜是一種制備薄膜材料的技術。在真空室中,材料的原子與熱源分離,并撞擊待鍍物體的表面。利用掩模技術在光盤上制備鋁膜,在印刷電路板上制備金屬膜。薄膜是在真空中制備的,包括晶體金屬、半導體、絕緣體等單質或復合薄膜的鍍膜。雖然CVD也采用減壓、低壓或等離子等真空方法,但真空鍍膜一般是指通過物理方法沉積薄膜。真空鍍膜有三種形式,即蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。蒸發鍍膜是通過加熱和蒸發使物質沉積在固體表面的一種鍍膜。
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