真空鍍膜機油擴(kuò)散泵的應(yīng)用壓力范圍為10-1Pa-10-7Pa，利用氣體的擴(kuò)散現(xiàn)象排出。它具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、泵速大（可達(dá)10+5L/s）的特點。主要由多級油泵、擴(kuò)散器泵和噴嘴（d-4#）按日本型號組成。

擴(kuò)散泵油儲存在擴(kuò)散泵的底部，上部為進(jìn)氣口，右側(cè)下部為排氣口。在運行過程中，機械泵為出風(fēng)口提供預(yù)壓，作為預(yù)泵。

當(dāng)擴(kuò)散泵的油被電爐加熱時，產(chǎn)生的油蒸汽提供預(yù)壓，機械泵作為預(yù)泵。當(dāng)擴(kuò)散泵油被電爐加熱時，產(chǎn)生的油蒸汽通過傘嘴沿導(dǎo)管向下噴射。由于噴嘴外的機械泵提供1-10-1 PA的真空，油蒸汽可以噴射一定距離，形成向排氣口移動的射流。射流*終接觸冷卻水冷卻的泵壁，冷凝成液體流回蒸發(fā)器，即通過油蒸發(fā)射流冷凝和反復(fù)循環(huán)實現(xiàn)抽氣。

一旦從進(jìn)氣口進(jìn)入泵的氣體分子落入蒸汽流中，它們將獲得向下運動的動量并向下飛行。由于射流具有高流速（約200m/s）、高蒸汽密度和高分子量（300-500）的擴(kuò)散泵油，可有效帶走氣體分子。因此，氣體分子不能長時間停留在射流界面上，在射流界面兩側(cè)，萃取氣體的濃度差異很大。正是由于這種濃度差異，提取的氣體可以連續(xù)穿過界面，擴(kuò)散到射流中，被帶到出口，然后被出口處的機械泵抽走。

擴(kuò)散泵的油蒸汽壓是決定泵極限真空的重要因素。因此，應(yīng)盡量選用飽和蒸汽壓較低的泵油，其化學(xué)特性應(yīng)較好。

擴(kuò)散泵不能單獨用于抽氣。通常，泵的出口壓力要求為40 PA。擴(kuò)散泵的泵送速度取決于第  一級噴嘴和泵體進(jìn)口直徑之間的環(huán)形區(qū)域。泵送速度不是一個恒定值，而是隨入口壓力而變化。當(dāng)壓力為10-2~10-3pa時，擴(kuò)散泵的抽速*快。當(dāng)壓力小于5*10-4Pa時，擴(kuò)散泵的泵送速度*小，幾乎沒有泵送能力（此時進(jìn)氣口壓力較高）。由于空氣密度高，蒸汽流無法形成高速射流以阻止空氣的反擴(kuò)散，因此泵速降低）。

擴(kuò)散泵安裝前應(yīng)清洗干凈，方可裝入擴(kuò)散油。在加熱機油之前，必須對泵抽真空。停機前，擴(kuò)散泵油必須冷卻至60~70℃，關(guān)閉前級抽氣，*后關(guān)閉冷卻水。

由于油擴(kuò)散泵無法消除回油的可能性，因此無法確保精密產(chǎn)品的100%純度，尤其是在半導(dǎo)體行業(yè)。因此，有“高真空凝結(jié)水泵+低真空機械泵”組成的無油真空系統(tǒng)。冷凝泵組成的排氣系統(tǒng)不僅排氣效率高，而且能有效地保證真空室的清潔度，保證產(chǎn)品質(zhì)量（避免產(chǎn)品污染，增強薄膜與基材的附著力），但其維護(hù)成本非常高且昂貴，因此，滲透率沒有擴(kuò)散泵的滲透率寬。